産業用ウエハー乾燥システムヒーター

ファブフロアにおけるウェハ乾燥中の熱ドリフト ウェハ乾燥中の熱ドリフトは、リソグラフィセルが絶対に許容できないものです。フォトレジスト表面における数度の不均一性が、オーバーレイ誤差として表れ、歩留まりに直結します。私たちは、この変数を排除するために、産業用ウェハ乾燥ヒーターを設計しました。 赤外線...