ファブ向け 最高評価のRTPランプ

製造現場では、フォトレジストの加熱処理において0.5℃のばらつきがあっただけで、そのロット全体が廃棄されてしまいます。私たちは、このような不確実性を排除するためにRTPランプを開発しました。これにより、ソフトベイク、ハードベイク、急速熱処理といった各工程においても、粒子の発生リスクなしに安定した処...