半導体用のゴールドコーティングされた赤外線ランプ
クリーンルームを本当に清潔に保つために:赤外線加熱の真実
もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、粒子による汚染という問題がどれほど深刻かご存知でしょう。わずかなほこりやガスの放出だけで、作業中のウェーハ全体が台無しになってしまいます。
問題は、一般的な加熱要素ではこのような状況に対応...
ツインチューブ型ゴールドコーティングランプ
もう、温風を使うのはやめよう:なぜ私たちは金コーティングされた赤外線ランプに切り替えたのか
もし、温風を利用した加熱処理を経験したことがあるなら、その手順はわかるでしょう。空気を加熱し、その空気が部品を温めるのを待つのです。半導体の高度な加工では、この遅れが致命的です。とても非効率的です。
私たち...