クリーンルーム用オーブン赤外線ヒーター

ファブフロアでは、ソフトベークでの2°Cのドリフトが重要寸法に影響を及ぼし、多くの不良を引き起こす可能性があります。このクリーンルームオーブンは、赤外線ヒーターを搭載してこの変動を排除し、リソグラフィーが実際に要求する熱制御を提供します。 ここがその技術的な核心です。短波赤外線素子はエネルギーを直...