なぜ無鉛半導体の製造に赤外線硬化を採用するのか 半導体の製造方法が変わりつつあります。私たちは、有害な溶剤を使う乾燥装置や重金属触媒を使う方法から、徐々に離れていっています。 ほとんどの人々が赤外線硬化を採用しています。なぜでしょうか？それは理にかなっているからです。部屋全体を加熱したり、化学添加...

IR加熱と熱風加熱：なぜウェーハ処理に時間がかかるのか もし依然として半導体の精密加工に熱風循環方式を使っているのであれば、おそらく待機に多くの時間を費やしていることでしょう。 実際、熱風加熱は対流によって動作します。ウェーハが温まり始める前に、チャンバー内の空気全体を加熱しなければなりません。こ...

ウェーハ硬化用照明装置の電気的安全性について話しましょう。 ウェーハ硬化用照明装置は決して侮れないものです。極めて高い温度や高電圧にさらされるため、ほとんどの部品が壊れてしまいます。 反射器を見ると、単なる光を反射する鏡のように思えますが、実際には電気回路を安全に保つために重要な役割を果たしていま...

スマートファブで適切な加熱を実現するには もしインダストリー4.0へと移行しようとしているのであれば、従来の加熱方法ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。ウェーハを加熱する際には、赤外線システムが最適です。これにより、ウェーハに触れることなく直接加熱でき、即座に反応します。 実用的な制...

IRランプがウェーハを破壊するのを防ぎましょう。 大量生産の半導体製造において、ランプが故障するというのは、単なる面倒事や短時間の停止にとどまりません。それは本当に深刻な問題です。 石英のケースが割れると、ガラス片や金属の破片がウェーハの上に降り注ぎます。これは避けたいと思うほどの汚染事態です。だ...

赤外線を使ったMEMSウェーハの乾燥：効率的な方法 MEMSセンサーを製造する際に最も避けたいのは、わずかな水分や溶剤の汚れが微細な構造を壊してしまうことです。これは非常に微妙なバランスが求められます。ウェーハを完全に乾燥させる必要がありますが、単純に熱を当ててみるだけでは不十分です。 そのため、...

ファブの現場では、エリプソメトリーのデータの価値は、プローブの温度によって決まります。ソフトベイクやハードベイクの際に1°Cのずれが生じると、フォトレジストの厚さやCDが変化し、その結果ウェーハが不良品となってしまいます。そうしたずれを防ぐために、私たちはエリプソメトリープローブ用ヒーターを開発し...

300mmウェーハがスピンコーターから取り出される様子を見てみましょう。フォトレジストはそこにあって、すぐに処理を開始できる状態です。もし加熱が均一でなければ、1枚のウェーハだけを失うだけではありません。生産効率も低下し、リソグラフィーシステム全体の熱管理にも影響が出ます。私たちは、この問題を解決...

FABフロアで、午前3時にウェハードライヤーのランプが切れるのは、「メンテナンス」ではなくライン停止を意味する。ソフトベイクおよびハードベイクの温度が徐々にずれ、フォトレジストのプロファイルが変化し、粒子数が急増する。結果として不良、手直し、ウェハースタートのロスに直面することになる。当社はその瞬...

リソグラフィフロアでは、ウェハーが洗浄浴から濡れたまま取り出される。IRドライヤーが追いつかなければ、ウォーターマークが残り、フォトレジストが付着せず、生産ラインは停止する。私たちは、そのような故障を未然に防ぐために、ウェハードライ用の赤外線ヒーターを設計した。 内部構造の重要ポイント 短波長赤外...