IR加熱と熱風加熱：なぜウェーハ処理に時間がかかるのか もし依然として半導体の精密加工に熱風循環方式を使っているのであれば、おそらく待機に多くの時間を費やしていることでしょう。 実際、熱風加熱は対流によって動作します。ウェーハが温まり始める前に、チャンバー内の空気全体を加熱しなければなりません。こ...

IRランプがウェーハを破壊するのを防ぎましょう。 大量生産の半導体製造において、ランプが故障するというのは、単なる面倒事や短時間の停止にとどまりません。それは本当に深刻な問題です。 石英のケースが割れると、ガラス片や金属の破片がウェーハの上に降り注ぎます。これは避けたいと思うほどの汚染事態です。だ...

ヒーターによって水素センサーが壊れるのを防ぎましょう。 クラス100のクリーンルームで働いたことがある人なら、そのストレスがどれほど大きいかわかるでしょう。見えないほど微細なほこり一つでも、大量の水素センサーが台無しになってしまいます。 問題は、ほとんどの加熱要素が実質的に汚染源だということです。...

清掃ラインが不安定になったときに、どうやって安全を確保するか 正直言って、赤外線ヒーターを化学洗浄エリアに設置するのは、まるで火遊びのようなものです。そこには可燃性の蒸気が漂っており、また、触れるものすべてを腐食させる性質のある薬剤もあります。通常の赤外線ランプでは不十分です。それは、事故を引き起...

赤外線を使ったMEMSウェーハの乾燥：効率的な方法 MEMSセンサーを製造する際に最も避けたいのは、わずかな水分や溶剤の汚れが微細な構造を壊してしまうことです。これは非常に微妙なバランスが求められます。ウェーハを完全に乾燥させる必要がありますが、単純に熱を当ててみるだけでは不十分です。 そのため、...