300mmウェーハに対する均一な加熱 IR方式

300mmウェーハがスピンコーターから取り出される様子を見てみましょう。フォトレジストはそこにあって、すぐに処理を開始できる状態です。もし加熱が均一でなければ、1枚のウェーハだけを失うだけではありません。生産効率も低下し、リソグラフィーシステム全体の熱管理にも影響が出ます。私たちは、この問題を解決...