300mmウェーハがスピンコーターから取り出される様子を見てみましょう。フォトレジストはそこにあって、すぐに処理を開始できる状態です。もし加熱が均一でなければ、1枚のウェーハだけを失うだけではありません。生産効率も低下し、リソグラフィーシステム全体の熱管理にも影響が出ます。私たちは、この問題を解決するために300mmウェーハ用のIRシステムを開発しました。これにより、必要な場所に均一な熱を供給することができます。
実際に重要なのは何か 私たちは、迅速かつ直接的なエネルギー伝達のために短波長の赤外線放射体を使用しています。これにより、300mmのウェーハ表面全体で±0.1°Cの温度制御が可能となり、繰り返しの処理でも安定した性能が維持されます。このプラットフォームはクラス1～100のクリーンルームと互換性があり、粒子の発生もないため、チャンバー内は常に清潔を保たれます。
リソグラフィーにおいてこれが重要な理由は、熱に敏感な工程、例えばソフトベイクやハードベイク、キュアリングといった工程を直接サポートできるからです。温度が均一であれば、寸法の精度も保たれ、欠陥も減少します。また、熱応答が速いため、処理時間も短縮されます。
さらに、これらの放射体は5,000時間以上連続して動作できるように設計されているため、運用中に予期せぬ問題が起きることが少なく、消耗品の交換にかかる時間も削減されます。
準備が必要なこと この装置は既存の工程に簡単に組み込むことができますが、独自の電源や冷却装置が必要です。恒久的な負荷下でも熱的安定性を保つために、240Vの三相電源と脱イオン水による冷却が必要です。
その結果、日々、再現性の高いプロセス制御が実現されます。