真空対応の赤外線ヒーター

真空赤外線加熱と熱風加熱：なぜ切り替えが重要か 半導体の高度な加工を行っている方なら、エネルギーを効果的に伝達することの難しさをご存知でしょう。長い間、私たちは単純に熱風を使ってきました。つまり、ガスを加熱して、そのガスがウェーハを加熱するという仕組みです。しかし、問題点もあります。 真空状態では...