ウェーハバーンイン試験用加熱ランプ

製造現場において、熱源が不安定であれば、バーンイン処理の効果は全く期待できません。チャックの位置が数度でもずれると、品質の悪いデバイスが出来上がってしまったり、良品が捨てられてしまうことになります。私たちは、このような不安定性を解消するために、このバーンイン用ランプを開発しました。 内部構造が重要...