エリプソメトリーウェーハプローブヒーター

ファブの現場では、エリプソメトリーのデータの価値は、プローブの温度によって決まります。ソフトベイクやハードベイクの際に1°Cのずれが生じると、フォトレジストの厚さやCDが変化し、その結果ウェーハが不良品となってしまいます。そうしたずれを防ぐために、私たちはエリプソメトリープローブ用ヒーターを開発し...