UHP 超純度 ヒーターランプ

もし、クラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、汚染された製品ができてしまうという悪夢をご存知でしょう。わずかなガスの漏れや、ヒーターから出る微小な粒子だけで、ウェーハや光学部品が台無しになってしまいます。本当に厄介です。 こうした問題の原因は、ほとんどの標準的な赤外線ランプにあります...