もし、クラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、汚染された製品ができてしまうという悪夢をご存知でしょう。わずかなガスの漏れや、ヒーターから出る微小な粒子だけで、ウェーハや光学部品が台無しになってしまいます。本当に厄介です。
こうした問題の原因は、ほとんどの標準的な赤外線ランプにあります。これらのランプは安価な接着剤やシール材を使用しており、加熱されるとすぐに蒸発してしまい、その汚れが作業場に混入してしまいます。私たちはこの問題を解決するために、特別に設計されたUHPクォーツランプを開発しました。
秘密は材料にあります。 私たちは99.99％純度の合成フュージドシリカを使用しています。これは単に熱に耐えるためだけではありません。金属不純物を取り除くためでもあります。金属不純物があると「ホットスポット」ができ、ランプが早期に壊れてしまいます。
高純度のクォーツとハロゲンサイクルのおかげで、このランプは稼働時に微細な破片を放出しません。また、シール部分が問題の原因になりがちなので、専用のUHPシール処理を施しています。したがって、揮発性有機化合物が真空チャンバー内に漏れることはありません。
電力についても考慮しましょう。 利用可能なスペースに応じて、高い電力密度を実現できます。高ワット数だと速く加熱されますが、冷却システムも適切に設計する必要があります。
ヒントとして、狭いスペースで最大出力を使う場合は、空気フィルターがその熱負荷に対応できるかを確認してください。そうでなければ、床のほこりが舞い上がり、結局最初の状態に戻ってしまいます。
良いニュースは、さまざまな長さや電圧のオプションがあることです。これらはすぐに交換できるように設計されているので、制御キャビネットを分解する必要はありません。
スムーズに稼働させるために。 また、アークを防ぐために精密なコネクタも使用しています。アークはクリーンルームにとって致命的な問題です。なぜなら、オゾンや粒子を生成し、性能を低下させるからです。
配線する際は、接点が酸化していないかをしっかり確認してください。そして、ランプが完全に壊れる前に交換することをお勧めします。光の減少具合に基づいて交換タイミングを決めることで、温度を安定させ、生産途中での予期せぬ停止を防ぐことができます。