タングステンフィラメント石英ランプ

ファブフロアでは速やかに学ぶことが求められる。フォトレジストのベーク時に0.5度の温度変動があるだけで、クリティカル寸法がナノメートル単位でずれる可能性があり、単一の微粒子がダイの歩留まりを損なうこともある。加熱素子は、毎サイクルにおいて再現性のあるクリーンな熱を供給しなければならない。 技術的に...