中波クォーツヒーターチューブ

製造現場では、フォトレジストの焼成処理を単なる加熱工程として扱うことはありません。それは、ウェーハの寸法を制御するための重要な手段なのです。ソフトベイクやハードベイク時に2℃程度の偏差が生じると、CDの位置が変わったり、界面に汚れが残ったりして、各シフトごとに歩留まりが不安定になってしまいます。こ...