スマートファブで適切な加熱を実現するには
もしインダストリー4.0へと移行しようとしているのであれば、従来の加熱方法ではもはや十分ではないことに気づいているはずです。ウェーハを加熱する際には、赤外線システムが最適です。これにより、ウェーハに触れることなく直接加熱でき、即座に反応します。
実用的な制御
デジタルファブでは、ヒーターは単なる「単純な部品」であってはいけません。センサーのように機能する必要があります。
当社の赤外線システムは、PLCやPIDコントローラーに簡単に接続できます。また、線形な出力を提供するように設計されています。つまり、ソフトウェアを使って、ウェーハ表面の正確な温度に合わせてワット数を調整できるのです。
もう推測する必要はありません。加熱が適切に行われているかどうかも明確にわかります。各加熱サイクルの記録もしっかり残ります。
短波赤外線の利点
私たちは短波赤外線発信器を使用しています。なぜなら、シリコンウェーハにエネルギーを効率的に伝達できるからです。
対流式オーブンとは異なり、赤外線は対象物だけを加熱し、他の部分には影響しません。そのため、真空チャンバーやツールハウジングが巨大なラジエーターになることはありません。さらに、出力密度が高いため、小さなヒーターでも十分な効果が得られます。まさに一石二鳥です。
注意点：熱応力
ただし、速さは良いことですが、逆効果になる可能性もあります。急激に加熱しすぎると、薄いウェーハが変形したり、熱応力が生じたりする危険があります。慎重に加熱プロセスを管理する必要があります。安全を保つために、これらのヒーターとリアルタイムの温度測定装置を組み合わせることをお勧めします。そうすれば、問題が発生する前に目標温度を超えてしまうのを防げます。
切り替えの方法
スマートファブでは、モジュラー性が重要です。当社の赤外線システムは、従来の抵抗式ヒーターの代替として使用できます。そして最も良い点は、エネルギーの無駄遣いがなくなることです。ウェーハを温めるために大きな金属を加熱する代わりに、ウェーハ自体のみを加熱します。結果として、全体の消費電力が減少し、クリーンルームの空調も余分な熱に対処する必要がなくなります。