半導体製造工場での炭素排出削減：なぜ赤外線加熱が効果的なのか 半導体製造工場でカーボンニュートラルを実現しようとすると、単に「再生可能エネルギークレジット」を購入するだけでは不十分だとすぐに気づきます。実際には、熱処理のプロセス自体を見直す必要があります。 従来の抵抗加熱や大規模な対流式オーブンを...

ファブフロアでは、ソフトベークでの2°Cのドリフトが重要寸法に影響を及ぼし、多くの不良を引き起こす可能性があります。このクリーンルームオーブンは、赤外線ヒーターを搭載してこの変動を排除し、リソグラフィーが実際に要求する熱制御を提供します。 ここがその技術的な核心です。短波赤外線素子はエネルギーを直...