산업용 웨이퍼 건조 시스템 히터

팹 플로어에서의 웨이퍼 건조 시 열 드리프트는 리소그래피 셀에서 결코 용납될 수 없는 요소입니다. 포토레지스트 표면의 몇 도의 불균일성조차 오버레이 오류로 나타나며, 이는 수율에 직접적인 영향을 미칩니다. 우리는 이러한 변수를 제거하기 위해 산업용 웨이퍼 건조 히터를...