Isıtıcıların hidrojen sensörlerinizi bozmasına izin vermeyin.
Eğer daha önce Class 100 temiz oda koşullarında çalıştıysanız, bu durumun ne kadar zorlayıcı olduğunu biliyorsunuzdur. Göremeyeceğiniz kadar küçük bir toz parçası bile tüm hidrojen sensörlerinizi işe yaramaz hale getirebilir.
Sorun şu ki, çoğu ısıtma elemanı aslında birer kirlilik kaynağıdır. Isındıkça parçalanır veya tuhaf gazlar salgılarlar. Hassas malzemelerle çalışırken bu durum gerçekten de kabus gibidir.
Bu sorunu çözmek için yüksek saflıkta kuvars IR lambaları kullanmaya karar verdik.
Neden kuvars?
Sentetik, yüksek saflıkta kuvars kullanıyoruz; çünkü bu malzeme sabit kalır. Isındığında da parçalanmaz veya uçucu organik bileşikler salgılamaz.
Çoğu endüstriyel lamba daha ucuz camlardan yapılmıştır. Bu lambalar ilk ısınma döngülerinde duman çıkarabilir veya mikroskobik parçacıklar salabilir. Bizim lambalarımız ise size ulaşmadan önce yüzeyindeki tüm kalıntılardan arındırılır. Böylece ihtiyacınız olan ısıyı elde edersiniz ve waferlerinize istenmeyen maddeler bulaşmaz.
IR ışınlarının avantajları
İşte ilginç olan nokta: Kızılötesi ısıtma, doğrudan radyasyon yoluyla çalışır. Sensörün etrafındaki havayı ısıtmaya çalışmıyoruz; doğrudan hedef malzemeyi ısıtıyoruz. Bu sayede zorunlu hava akışına gerek kalmaz. Daha fazla zaman kaybetmeden hızlıca ısı sağlanır.
Dikkat edilmesi gerekenler
Yüksek saflıkta kuvars da tamamen dayanıklı değildir; kırılgandır. Normal camlara kıyasla termal şoklara daha iyi dayanır, ancak bunları ağır çelik çubuklar gibi kullanamazsınız. Montaj braketlerini çok sıkıyorsanız, tüp genişlediğinde kırılabilir. Kuvarsın nefes alabileceği bir alan bırakmalısınız.
Bunları özellikle temiz odalar için ürettik. Yani hiçbir yapıştırıcı, ucuz plastik veya gaz salan madde yoktur. Sadece saf kuvars ve yüksek kaliteli elektrotlar kullanılır.
Kabloları doğru şekilde bağlayın, soğutmayı kontrol altında tutun; böylece işinize engel olmayacak bir ısı kaynağına sahip olursunuz.