ইনফ্রারেড ব্যবহার করে MEMS ওয়েফারগুলো শুকানো: একটি কার্যকর পদ্ধতি
MEMS সেন্সর তৈরি করার সময় আপনি চান না যে অতিরিক্ত আর্দ্রতা বা কোনো রাসায়নিক পদার্থ মাইক্রো-কাঠামোটিকে নষ্ট করে দেয়। এটা একটি সূক্ষ্ম ভারসাম্য। ওয়েফারগুলোকে সম্পূর্ণ শুকনো রাখা জরুরি; কিন্তু শুধুমাত্র উচ্চ তাপ ব্যবহার করে এটা করা যায় না।
এজন্যই আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড হিটার ব্যবহার করি। গরম বায়ু বা বিপজ্জনক রাসায়নিক পদার্থ ব্যবহার না করে, ইনফ্রারেড শক্তি সরাসরি ওয়েফারের উপরিভাগে পৌঁছায়। এটা খুবই কার্যকর ও নিরাপদ পদ্ধতি।
এটা কীভাবে কাজ করে?
কনভেকশন ওভেনের কথা ভাবুন। সেখানে প্রথমে বায়ুকে গরম করতে হয়, তারপর সেই গরম বায়ু খাবারকে গরম করে। এতে অনেক সময় নষ্ট হয়। কিন্তু ইনফ্রারেডের ক্ষেত্রে এমনটা হয় না। এটা সরাসরি ওয়েফারের উপরিভাগের জল অণুগুলোকে লক্ষ্য করে। শক্তি সেই জল অণুগুলোকে গরম করে এবং দ্রুত বাষ্পীভূত করে। ফলে ওয়েফারটি কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই শুকিয়ে যায়।
পরিবেশের জন্য ভালো
শিল্পজগত ধীরে ধীরে লেড-ভিত্তিক সোল্ডার ও বিপজ্জনক VOC রাসায়নিক পদার্থগুলো ব্যবহার করা বন্ধ করছে। ইনফ্রারেড ব্যবহার করে ওয়েফারগুলো শুকানো হয়; এটা একটি “শুষ্ক” প্রক্রিয়া। আপনাকে কোনো দূষিত গ্যাস অপসারণ করার ঝামেলা করতে হয় না, আর কোনো বিপজ্জনক হিটিং উপাদান নেই। আপনি শুধুমাত্র এটাকে সংযুক্ত করুন, তরঙ্গদৈর্ঘ্য নির্ধারণ করুন, এবং কাজ শেষ। আর, যেহেতু গরম বায়ু প্রবাহিত করার জন্য কোনো বড় ফ্যান ব্যবহার করা হয় না, তাই শক্তি অপচয় হয় না।
কিছু সীমাবদ্ধতা
তবে এটা সম্পূর্ণ নিরাপদ নয়। উচ্চ তাপ ঘনত্বের কারণে কিছু সমস্যা থাকতে পারে। যদি তাপমাত্রা অতিরিক্ত বেশি হয়, তাহলে ওয়েফারটি ক্ষতিগ্রস্ত হতে পারে। তাই PID কন্ট্রোলার ব্যবহার করার সময় সাবধান থাকতে হয়। আর, ইনফ্রারেডের শক্তি খুব বেশি হওয়ায় চেসিসকে ভালোভাবে সুরক্ষিত রাখা জরুরি। আপনি চান না যে অপারেটররা বিকিরণের সংস্পর্শে আসুক।
আমরা এই হিটারগুলোকে পুরানো, জটিল তাপীয় সিস্টেমগুলোর বিকল্প হিসেবে ডিজাইন করেছি। এর ফলে আপনার জায়গা কম লাগে, আর বিদ্যুৎ খরচও কম হয়। এটা উৎপাদন প্রক্রিয়াকে ধীর না করেই পরিবেশবান্ধব মানদণ্ড অর্জনের একটি উপায়।