熱を無駄にしないために：金メッキ反射板の必要性
もし半導体ウェーハの処理を行っているのに、反射板を使用していないのであれば、実質的にお金の半分を無駄にしていることになります。
考えてみてください。通常の石英製のIRランプは、360度全方位に熱を放出します。このエネルギーを受け止めるものがなければ、その半分は機械のケースの中に漏れてしまいます。これは明らかな無駄です。私たちは金メッキ反射板を使ってこの問題を解決します。これにより、熱が鏡のように作用し、すべてのエネルギーが本来あるべき場所であるウェーハ上に戻されます。
なぜ金なのか？
確かにアルミニウムの方が安価です。しかし、赤外線領域においては金の方が優れています。金はより多くのエネルギーを反射し、さらに重要なのは、極端に高温になっても剥がれたり酸化したりしないことです。私たちは、できるだけ多くの光子がターゲットに当たるように、薄い金の層を塗布します。これにより、「デッドゾーン」がなくなり、熱が正確に必要な場所に届きます。
知っておくべきトレードオフ
ただし、出力密度を高めると、文字通り火遊びをしているようなものです。高出力のランプと金メッキ反射板を組み合わせると、非常に強烈な熱が発生します。利点としては、温度の上昇速度が速くなり、ウェーハ全体の温度がより安定することです。しかし、その反面、ランプのハウジングに大きな負荷がかかります。冷却ファンやヒートシンクが十分でなければ、問題が発生します。ソケットが溶けたり、ブラケットが変形したりすることもあります。必ず、発生する熱に対応できる冷却システムを用意してください。
導入方法
これらは、ドロップイン式の代替品として作られています。誰も1週間もの停止時間を望んでいませんからね。単純に交換して、既存のコントローラーに接続すればよいのです。
ただし、注意点があります。PID設定を確認してください。これらの反射板は効率が非常に高いため、以前の温度設定では目標値を超えてしまう可能性があります。シリコンを傷つけないように、温度上昇の速度を調整してください。
一度それを調整すれば、問題なく使用できます。