
别让加热器毁掉你的氢传感器
如果你曾在100级洁净室工作过,就会明白其中的压力有多大。哪怕只有一粒微小的灰尘——那种肉眼根本看不见的粒子——就足以让整批氢传感器报废。
问题在于,大多数加热元件其实都是“污染源”。它们在受热时会出现剥落或释放出有害气体的情况。对于那些极其敏感的传感器来说,这无疑是个灾难。
为了解决这个问题,我们选择了高纯度的石英红外灯。
为什么偏偏选择石英?
我们使用的是合成高纯度石英,因为它非常稳定,不会在受热时分解或释放出挥发性有机化合物。而大多数工业用灯则使用较便宜的玻璃,这类玻璃在初次加热时就会产生烟雾或微小碎片。我们的石英管在送达用户手中之前,已经经过彻底清洁,确保没有任何残留物。这样就能在提供所需热量的同时,避免给芯片带来任何不必要的干扰。
红外线的妙处
有趣的是,红外线加热是通过直接辐射来工作的。我们并不是试图加热传感器周围的空气,而是直接加热目标材料。这样一来,就无需再使用强制对流方式了。这样一来,就不会有风扇带来的灰尘或对层流环境的破坏。
而且,红外线加热的速度非常快。因为热量高度集中,所以升温速度极快,这就意味着污染物几乎没有机会进入工作区域。
需要注意几点
不过,高纯度石英并非不可摧毁的,它仍然具有脆性。虽然它的抗热冲击能力比普通玻璃强一些,但也不能像钢棒那样被过度挤压。如果固定石英管的支架太紧,那么石英管在受热膨胀时就会断裂。因此,必须给石英管足够的空间。
我们专门为洁净室设计这些产品,因此不使用任何粘合剂或廉价塑料,也不使用任何会释放气体的材料。只有纯净的石英和高品质的电极而已。只要正确处理电路连接并保持良好的冷却效果,就能得到一个不会干扰工作的理想加热源。