스마트 팩토리에서 올바른 열 제어 방법
인더스트리 4.0을 지향한다면, 이제는 기존의 열 처리 방식만으로는 충분하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 웨이퍼를 가열할 때는 적외선 시스템이 최선의 선택입니다. 적외선은 웨이퍼에 직접 작용하기 때문에, 웨이퍼에 닿지도 않으면서도 거의 즉시 반응합니다.
실질적으로 효과적인 제어
디지털 팩토리에서는 히터가 단순한 부품으로 남아서는 안 됩니다. 센서처럼 작동해야 합니다.
우리의 적외선 시스템은 PLC 및 PID 컨트롤러와 쉽게 연동됩니다. 우리는 선형적인 전력 공급을 가능하게 하는 시스템을 만들었습니다. 다시 말해, 소프트웨어를 통해 웨이퍼 표면의 실제 온도에 맞는 정확한 와트 수를 설정할 수 있다는 뜻입니다.
더 이상 추측할 필요가 없습니다. 온도 상승 과정도 명확하게 파악할 수 있습니다.
단파 적외선의 힘
우리는 에너지를 실리콘 웨이퍼에 효율적으로 전달할 수 있는 단파 적외선을 사용합니다.
대류 오븐의 경우 모든 것을 가열하지만, 적외선은 그렇지 않습니다. 적외선은 웨이퍼만을 가열하고 나머지는 그대로 둡니다. 따라서 진공 챔버나 장비의 내부가 거대한 라디에이터가 되는 일도 없습니다. 게다가 전력 밀도가 매우 높기 때문에, 더 작은 히터를 사용해도 여전히 높은 생산성을 유지할 수 있습니다. 이는 일석이조입니다.
주의해야 할 점: 열應力
속도는 좋지만, 이는 양날의 검이 될 수 있습니다. 너무 빠르게 온도를 올리면 얇은 웨이퍼가 변형되거나 열應력이 발생할 수 있습니다. 균형을 잘 맞춰야 합니다. 안전을 위해, 우리는 이러한 히터와 실시간 온도 측정 장치를 함께 사용하도록 권장합니다. 이를 통해 문제가 발생하기 전에 온도를 적절히 조절할 수 있습니다.
전환하기
스마트 팩토리는 모듈화된 구조를 가집니다.
우리의 적외선 시스템은 기존의 저항식 히터를 대체할 수 있도록 설계되었습니다. 가장 좋은 점은 에너지 낭비가 줄어든다는 것입니다. 웨이퍼를 따뜻하게 하기 위해 큰 금속 부품을 가열할 필요가 없으며, 웨이퍼만을 가열하면 됩니다.
전체적인 에너지 소비도 줄어듭니다. 클린룸의 HVAC 시스템도 과도한 열을 처리하기 위해 과도하게 작동할 필요가 없습니다. 결국, 더 효율적인 시스템이 되는 것입니다.