Trong quy trình sản xuất, bạn biết đấy, chỉ cần nhiệt độ tăng thêm 0,5°C trong quá trình sấy phim photoresist cũng có thể khiến các kích thước quan trọng của sản phẩm bị ảnh hưởng nghiêm trọng, dẫn đến lãng phí rất nhiều nguyên vật liệu. Chúng tôi đã chế tạo hệ thống dùng băng dính chịu nhiệt cao để loại bỏ yếu tố không chắc chắn này.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật: Hệ thống này giúp duy trì độ ổn định nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer, nhờ việc sử dụng tia hồng ngoại tần số thấp cùng công nghệ đo nhiệt độ theo vòng lặp khép kín. Hệ thống này được thiết kế để hoạt động trong các phòng sạch loại 1–100, với các vật liệu ít tỏa khí và cơ chế kiểm soát hạt nhỏ giúp giữ số lượng hạt dưới mức cho phép, thông qua quá trình sấy mềm và sấy cứng. Các thông số liên quan đến phim photoresist luôn ổn định từ lần này sang lần khác, vì nhiệt độ được kiểm soát chính xác – chứ không phải dự đoán mò.
Tại sao hệ thống này hiệu quả trong quy trình in ấn: Độ ổn định nhiệt độ trong quá trình sấy mềm ảnh hưởng trực tiếp đến việc loại bỏ dung môi và lực căng của lớp phim. Độ ổn định trong quá trình sấy cứng lại ảnh hưởng đến khả năng bám dính và khả năng chống ăn mòn của lớp phim. Hệ thống của chúng tôi giúp duy trì các thông số này ở mức chuẩn, từ đó giảm chi phí sửa chữa, nâng cao tỷ lệ sản phẩm tốt, đồng thời giảm lãng phí năng lượng bằng cách điều chỉnh nhiệt độ cho phù hợp với nhu cầu thực tế của quy trình. Kết quả là chất lượng sản phẩm được kiểm soát tốt hơn, số lượng khiếm khuyết giảm, và thời gian bảo trì cũng được plan trước – nói cách khác, hiệu suất sản xuất được nâng cao mà không cần lo lắng về những biến đổi nhiệt độ.
Một vài lưu ý thực tế: Khi lắp đặt, cần đảm bảo rằng công suất hút khí và khả năng cách ly rung động của hệ thống phù hợp với kích thước của thiết bị. Nếu các ống dẫn khí không phù hợp, chúng có thể gây ra sự dao động của dòng khí, ảnh hưởng đến độ ổn định nhiệt độ. Bộ sưởi có thể chịu được nhiều chu kỳ nhiệt độ khác nhau, nhưng trong điều kiện nhiệt độ cao và tốc độ sản xuất lớn, cần kiểm tra định kỳ các bộ phận tiếp xúc với băng dính để đảm bảo tính ổn định của chúng. Nếu mọi thứ được điều chỉnh phù hợp với quy trình sản xuất, hệ thống sẽ hoạt động hiệu quả như mong đợi.