半导体检测设备加热器

在晶圆检测车间，温度偏差可能导致关键尺寸的微小变化，报废整批晶圆，并消耗大量光刻时间。我们设计的检测工具加热器旨在从根本上避免这种情况发生。它采用短波红外技术，提供亚毫米级均匀且可重复稳定的热场，完全符合现代制程节点的热预算要求。 核心技术细节 核心部件是一组红外发射器阵列，保证晶圆级温度均匀性在...