为何我们选择使用红外固化技术来处理无铅半导体材料 我们处理半导体制造的方式正在发生变化。我们终于可以摆脱那些有害的溶剂型干燥剂以及含重金属的催化剂了。大多数人都在转向使用红外固化技术。为什么呢？因为这样做更高效——无需加热整个腔室，也无需依赖化学添加剂。红外光可以直接照射到晶圆表面，这种方式既高效...

红外加热与热空气加热：为何您的晶圆加工效率如此低下？ 如果您仍在使用热空气循环方式来进行半导体深度加工，那您很可能要花费大量时间在等待上。 因为热空气加热依靠的是对流原理——必须先加热整个腔室内的所有空气，才能让晶圆开始升温。这个过程极其缓慢，会大大浪费时间。 时间就是关键。 而红外加热则完全不同...

让我们来谈谈关于晶圆固化用反射器的电气安全问题吧。 晶圆固化灯绝非普通设备——它们要承受极高的温度和电压，这样的条件足以让大多数元件无法正常工作。 从外观上看，反射器似乎只是个用于反射光线的装置而已。但实际上，它起着至关重要的作用，能够确保电路的绝缘性，从而保障设备的安全性。正因如此，我们绝不能掉...

在智能工厂中实现精确的加热控制 如果您正在向工业4.0模式转型，那么您肯定已经意识到，传统的加热方式已经不再适用了。在加热晶圆方面，红外线加热系统是最佳选择。它无需直接接触晶圆，就能直接对晶圆进行加热，且响应速度极快。 真正有效的控制方式 在数字化工厂中，加热器不应仅仅是简单的组件——它们应该具备...

防止红外灯损坏您的晶圆 在大规模半导体生产中，如果红外灯发生故障，那可不仅仅是令人头疼的问题，更会导致生产中断。这简直就是一场灾难。 当石英壳破裂时，玻璃碎片和金属颗粒会掉落到晶圆上，从而造成严重的污染。这种状况是绝对不能发生的。正因如此，我们才采用特殊方式来设计红外传感器和加热灯。 防止污染扩散...

用红外线干燥MEMS晶圆：一种高效的方法 在制造MEMS传感器时，最不希望看到的就是有水滴或溶剂残留物破坏微结构。这需要非常精确的控制。虽然需要让晶圆完全干燥，但也不能简单地用高温来处理它。 因此，我们使用短波红外线加热器。与使用热空气或化学干燥剂相比，红外线可以直接将能量传递到晶圆表面。这种方式...

简介 咱们直入主题吧。我们设计这款红外线加热灯，就是为了实现一个特定的目标：让晶圆快速干燥。它的加热效果与那些知名品牌的产品相当，但却没有那么高的价格。它非常适合那些需要可靠性能、又不想为品牌溢价而多花钱的工程师们使用。 产品特点 可以将这款灯视为一款高效的工具。它是一种高密度的热源，结构简单且实...

在光刻工厂中，椭圆偏振测量数据的准确性取决于探头温度的稳定性。在软烘或硬烘过程中，哪怕温度只有1°C的波动，都可能改变光阻层的厚度以及晶圆的几何尺寸，从而导致晶圆无法被正常使用。因此，我们设计了这种椭圆偏振测量用探头加热器，其精度要求极为严格：晶圆表面的温度均匀性需保持在±0.1°C范围内，这样才...

请观看300毫米晶圆从旋涂机中取出的过程。光刻胶已经涂覆在晶圆上，接下来就需要进行烘烤处理。如果烘烤不均匀，不仅会损失一颗晶圆，还会影响整个光刻流程的效率。为此，我们设计了专门的300毫米晶圆红外加热系统，以确保热量能均匀地分布到晶圆的各个部位。 真正重要的是什么？ 我们使用短波红外发射器来实现快...

在芯片制造现场，如果热源的稳定性不佳，那么所谓的“老化测试”就毫无意义了。如果加热器的温度有几度的偏差，那么那些质量稍差的芯片就会被误判为合格品，而优质芯片则可能被当作次品处理。我们设计的这种老化测试灯，就是为了消除这种不确定性。 核心优势 我们在石英外壳内使用了短波卤素元件，这些元件能够快速达到...

在工厂车间，凌晨 3 点一盏晶圆干燥灯熄灭并不算“维护”。这意味着生产线停工。软烘焙和硬烘焙温度开始漂移，光刻胶轮廓发生变化，颗粒计数上升。接下来你会发现，面对废料、返工和损失的晶圆启动。我们设计替换灯具的初衷就是为了避免这种情况的发生。 实际重要的内容 该灯具内部装有短波红外（SWIR）发射器，...

在制造车间，晶圆干燥过程中热漂移是光刻单元绝对无法承受的因素。即使在光刻胶表面上出现几度的不均匀性，也会表现为叠加误差，直接影响良率。我们设计的工业晶圆干燥加热器旨在消除这一变量。 红外精度：可依赖的亚毫米控制 我们通过工程化的光学系统运行短波红外发射器，以亚毫米的空间控制来塑造热场。其结果是在工...

Out on the lithography floor, a wafer comes out of the clean bath soaking wet. If the IR dryer can’t keep up, you’re left with...