中波石英加热管

在工厂车间里，我们不会把光刻胶的烘烤过程视为简单的加热步骤。实际上，它是一种影响产品尺寸的关键因素。如果软烘或硬烘过程中的温度偏差达到2摄氏度，就会导致CD的尺寸出现变化，同时在界面处形成杂质，从而使得产品良率始终处于危险状态。使用中波石英加热管，就可以有效消除这种波动性。 真正重要的是对晶圆本身...