钨丝石英灯

在制造车间，你需要快速学习：在光刻胶烘烤过程中半度的漂移可以使关键尺寸偏移纳米级别，而单个粒子可能会导致晶片失效。加热元件必须在每个周期中提供可重复、干净的热量。 技术要点 我们使用为半导体热预算设计的钨丝石英灯。钨丝提供稳定的辐射输出，而石英外壳能够以最小的气体释放传递干净的红外线。在目标平面上...