标签为“设备”的页面如下 洁净室设备升级中 在半导体制造厂中减少碳排放:为何红外加热如此有效 如果想要实现半导体制造厂的碳中和目标,就会发现仅仅购买“绿色能源”凭证是远远不够的。还必须从热管理方面着手解决这个问题。 想想传统的电阻式加热方式或大型对流式烤箱吧。它们实际上都是能源的巨大消耗者——在晶圆感受到温度变化之前,它们就已经把大量能量用... Read more...
洁净室设备升级中 在半导体制造厂中减少碳排放:为何红外加热如此有效 如果想要实现半导体制造厂的碳中和目标,就会发现仅仅购买“绿色能源”凭证是远远不够的。还必须从热管理方面着手解决这个问题。 想想传统的电阻式加热方式或大型对流式烤箱吧。它们实际上都是能源的巨大消耗者——在晶圆感受到温度变化之前,它们就已经把大量能量用... Read more...