如何保持洁净室的洁净状态：关于红外加热的真相 如果您正在运营100级洁净室，那么您肯定知道颗粒物带来的困扰。哪怕只有一粒微小的灰尘或少量气体释放出来，整批晶圆就都报废了。 问题在于，大多数普通的加热元件并不适合用于这种环境。因为它们在加热和冷却过程中会释放出微小的碎片，从而导致持续性的污染问题。...

别再等待了：我们为何选择使用镀金红外灯 如果你曾经使用过热风循环装置，那就知道其中的麻烦之处了。你需要先加热空气，然后让空气去加热工件，而在此期间你只能干等着。在半导体深度加工中，这种延迟时间实在是致命的——效率太低了。 我们决定不再依赖空气来加热，而是直接从源头开始加热。我们使用了镀金的双管式红...