工业晶圆干燥系统加热器

在制造车间，晶圆干燥过程中热漂移是光刻单元绝对无法承受的因素。即使在光刻胶表面上出现几度的不均匀性，也会表现为叠加误差，直接影响良率。我们设计的工业晶圆干燥加热器旨在消除这一变量。 红外精度：可依赖的亚毫米控制 我们通过工程化的光学系统运行短波红外发射器，以亚毫米的空间控制来塑造热场。其结果是在工...