半导体胶的红外固化

在晶圆车间，烘烤步骤和胶水固化直接影响产线良率。硬烘烤曲线偏差1.5°C就可能导致大量200mm晶圆报废。热量必须精准落在工艺配方要求的位置，班班如此。 技术关键点 我们的红外固化模块可实现晶圆级热均匀性±0.1°C，且批间温度重复性保持在±0.5°C以内。发射器采用短波红外，调谐匹配光刻胶和半导...