净化室烤箱红外加热器

在晶圆厂车间，软烘温度漂移2°C就足以移动关键尺寸并导致大量报废。我们设计了这款配备红外加热器的洁净室烘箱，以消除这种变异，提供符合光刻实际需求的温控能力。 这是其技术核心。短波红外元件将能量直接传递到负载上，降低热滞后，温度快速稳定。加热区内均匀度控制在±0.1°C以内，设定点稳定性在持续循环过...