드라이닝 과정에서 발생할 수 있는 화재 걱정은 그만하세요.
화학 처리 후 웨이퍼나 부품을 건조시킬 때는 마치 불과 싸우는 것과 같습니다. 공기 중에는 VOC와 인화성 기체들이 존재하며, 일반적인 적외선 램프는 오히려 위험 요소가 됩니다. 작은 스파크나 석영관의 미세한 균열만으로도 큰 재앙이 발생할 수 있습니다.
우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 가열 요소를 그대로 두는 대신, 밀폐된 구조 속에 넣어두는 것입니다.
밀폐 방식의 원리
적외선 요소들을 고품질의 석영 커버로 감싼 다음, 그것을 내구성이 좋고 폭발 방지 기능이 있는 외부 커버 안에 넣습니다. 이렇게 하면 뜨거운 필라멘트와 유해한 화학 물질들 사이에 물리적인 장벽이 생깁니다.
하지만 더 중요한 점은, 전선 연결 부분도 완전히 밀폐된다는 것입니다. 왜냐하면 램프는 ‘호흡’을 하기 때문입니다. 램프가 식으면서 부식성 가스를 흡입할 수 있습니다. 우리의 밀폐 시스템은 이러한 현상을 완전히 막아줍니다.
열 문제
하지만 문제가 있습니다. 램프를 밀폐하면 열이 쉽게 빠져나가지 못합니다. 그래서 계획 없이 전력을 높이면 밀폐제가 녹아버릴 수 있습니다. 그래서 우리는 적절한 전력 수준을 찾아내어, 필요한 건조 온도를 얻으면서도 장비가 손상되지 않도록 합니다.
실제 성능
아무도 자신의 팀이 클린룸에서 복잡한 회로 문제로 고생하는 것을 원하지 않습니다. 그래서 우리는 이런 ‘교체형’ 제품을 만들었습니다.
연결 부분은 산성 가스에도 견딜 수 있도록 설계되어 있어서 부식되거나 손상되지 않습니다. 그리고 석영관이 고장나더라도 걱정할 필요 없습니다. 밀폐 구조 덕분에 스파크나 입자들이 밖으로 나오지 않습니다. 그냥 장비를 교체하고 밀폐 상태를 다시 확인하기만 하면 됩니다. 당황할 필요도, 화재의 위험도 없습니다. 그저 제 역할을 하는 시스템일 뿐입니다.