椭圆偏振法晶圆探针加热器

在光刻工厂中，椭圆偏振测量数据的准确性取决于探头温度的稳定性。在软烘或硬烘过程中，哪怕温度只有1°C的波动，都可能改变光阻层的厚度以及晶圆的几何尺寸，从而导致晶圆无法被正常使用。因此，我们设计了这种椭圆偏振测量用探头加热器，其精度要求极为严格：晶圆表面的温度均匀性需保持在±0.1°C范围内，这样才...