在半导体制造厂中减少碳排放：为何红外加热如此有效 如果想要实现半导体制造厂的碳中和目标，就会发现仅仅购买“绿色能源”凭证是远远不够的。还必须从热管理方面着手解决这个问题。 想想传统的电阻式加热方式或大型对流式烤箱吧。它们实际上都是能源的巨大消耗者——在晶圆感受到温度变化之前，它们就已经把大量能量用...

红外加热与强制空气加热：在洁净室中，哪种加热方式更有效？ 在处理半导体深度加工时，通常有两种加热方式可供选择：传统的强制空气加热，或是红外加热。 强制空气加热的方式，就是让热空气在室内循环，从而让部件逐渐变热。而红外加热则不同——它是一种电磁辐射，可以直接作用于目标物体，无需任何中间介质。 等待时...

为什么我们在洁净室中选择红外固化技术 如果您曾经在洁净室中使用过对流式烤箱，那么您应该知道那种情况：为了让一个小部件干燥，不得不让整个房间都处于高温状态。这不仅浪费能源，还会让暖通空调系统过度工作，以保持空气的适宜性。 正因如此，我们越来越多地选择使用红外灯进行固化处理。 红外灯的优势在于它不会影...

在晶圆厂车间，软烘温度漂移2°C就足以移动关键尺寸并导致大量报废。我们设计了这款配备红外加热器的洁净室烘箱，以消除这种变异，提供符合光刻实际需求的温控能力。 这是其技术核心。短波红外元件将能量直接传递到负载上，降低热滞后，温度快速稳定。加热区内均匀度控制在±0.1°C以内，设定点稳定性在持续循环过...