乾燥段階での火災の心配は不要です。
化学処理後にウェーハや部品を乾燥させるとき、それはまさに火遊びに等しい行為です。空気中にはVOCや可燃性の蒸気が漂っており、通常の赤外線ランプでは危険が伴います。わずかな火花やクォーツ管の微細なひび割れでも、大惨事につながります。
私たちはより良い方法を見出しました。加熱要素を開放したままにする代わりに、密封されたケースの中に収めるのです。
セール構造の仕組み
赤外線要素を高品質なクォーツ製の容器で覆い、その容器を耐爆性のある外殻の中に収めます。これにより、高温のフィラメントと有害な化学物質との間に物理的な障壁ができます。
しかし、ここが肝心な点です。接続部分も完全に密封しています。なぜかというと、ランプは「呼吸」するからです。冷却されると、腐食性の蒸気を吸い込んでしまう可能性があります。私たちの密封方式によって、そのようなことが起こらないようにしています。
熱管理の課題
ただし、ランプを密封すると、熱が逃げにくくなります。そのため、計画なしに出力を上げてしまうと、密封材が溶けてしまいます。つまり、適切な出力を調整する必要があります。私たちは、十分な乾燥温度を得つつ、筐体に負担をかけないように、出力密度を慎重に調整しています。つまり、十分に熱くて効果的であり、同時に安全な状態を維持するのです。
実際の信頼性
誰も、チームがクリーンルームで複雑な配線の問題に悩まされるのを望みません。だからこそ、私たちはこのような「そのまま交換可能な」製品を作ったのです。
接続部分は酸素に強く作られているため、腐食したり壊れたりすることはありません。そして、もし管が破損しても問題ありません。密封構造によって、火花や粒子が外部に漏れ出ることはありません。単に装置を交換し、密封状態を確認すれば、再び作業を続けることができます。パニックになったり、火災が発生したりすることはありません。安心して夜を過ごせるシステムなのです。